Page 6 - High Power Laser Handbook

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Contributors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xv
Foreword . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xix
Preface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxi
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xxiii

Part 1 Gas, Chemical, and Free-Electron Lasers

1 Carbon Dioxide Lasers Jochen Deile,
Francisco J. Villarreal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 General Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3 CO Laser Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2
1.4 CO Laser Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2
1.4.1 Diffusion-Cooled CO Lasers . . . . . . 9
2
1.4.2 Fast-Flow CO Lasers . . . . . . . . . . . . . 12
2
1.5 Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2 Excimer Lasers Rainer Paetzel . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
2.1 Introduction and Principle of Operation . . . 17
2.2 Technology and Performance of
Excimer Lasers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
2.2.1 Principal Design and Technology . . . . 19
2.3 Excimer Laser Designed to Application . . . 28
2.3.1 High-Power Excimer Laser . . . . . . . . 28
2.3.2 Microlithography . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.3.3 LASIK . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
2.4 Application of High-Power Excimer Lasers . . . 33
2.4.1 High-Resolution Micromachining . . . 35
2.4.2 Brighter Displays . . . . . . . . . . . . . . . . 38
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
3 Chemical Lasers Charles Clendening,
H. Wilhelm Behrens . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
3.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
3.2 General Background . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
3.3 Hydrogen Fluoride and Deuterium
Fluoride Lasers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
3.3.1 Energy Levels . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47

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